【29秒。】


    【28秒。】


    两名特卫拖着老顾问就往外拽。


    老顾问还在狂笑，鞋底蹭着地面，发出刺耳的摩擦声。


    “没用！”


    “你们赢不了！”


    “那道光根本聚不住！”


    陆川一步横出，挡在主控台侧后方。


    黑沉沉的枪口微垂。


    目光却冷得像刀。


    程美丽没看他，也没看那条被拖远的疯狗。


    她直接走上主控台。


    金属踏板被高跟鞋踩出两声脆响。


    啪！


    她一把掀开主控台防尘罩，双手按住启动面板。


    “光源，全开。”


    【27秒。】


    轰——！


    极紫外光源的高压放电发生器猛地咆哮。


    巨大的电流冲入等离子激发舱。


    刺眼的蓝白色强光在舱内猛地炸开。


    防爆玻璃外，所有人的脸都被那一瞬的强光照得发白。


    嗡嗡嗡！


    光刻机内部的冷却泵、高压电源、镜头组同步启动，整台钢铁巨兽像是被点醒了。


    “起光了！”


    一名技术员失声喊了出来。


    大屏幕上，主光路追踪图瞬间亮起。


    第一束极紫外强光穿过激发舱，狠狠撞向第一面非球面反射镜。


    下一秒。


    红色警示框猛地弹出。


    滴滴滴滴！


    “偏了！”


    光路监测员脸色煞白，死死抓着操作台边缘。


    “主光束在二号反射面出现横向偏折！”


    “焦点锁定失败！”


    大屏幕上，那道本该笔直前冲的高能光束，在镜组中段出现了一个细微、却足以致命的弧度。


    肉眼几乎看不见。


    但在放大的光路图里，像一根骨头生生错了位。


    “补偿算法呢！”


    李副部长扯着嗓子吼，声音都劈了。


    一名老专家站在副控台前，手指疯狂敲击键盘，冷汗顺着下巴往下淌。


    “算不过来！”


    “国内现有算法模型吃不下这种纳米级偏折！”


    “算力不够，锁不住焦点！”


    “继续算下去，光源先废！”


    周围几名工程师的脸彻底白了。


    千辛万苦走到点火这一步。


    结果还是被卡死在最后一口气上。


    顾不上旁人的反应，程美丽抬手按住主控台边缘，眼神冷得吓人。


    “废物。”


    她吐出两个字。


    然后从白大褂口袋里，摸出一只银灰色的金属U盘。


    这东西不大。


    边角却泛着一种不属于这个时代的冷硬光泽。


    “你们算不动。”


    “我来。”


    啪！


    U盘被她狠狠插进主控机接口。


    【叮！】


    【跨时代光学微调算法已接入。】


    【平台微调开关，已同步解锁。】


    主控屏幕黑了一瞬。


    下一秒。


    无数复杂到令人头皮发麻的矩阵，像雪崩一样铺满整个电子大屏。


    一行。


    十行。


    百行！


    绿色字符疯狂滚动，速度快到所有人眼球发酸。


    “这是什么算法……”


    一名院士级专家下意识往前走了半步，眼神都直了。


    没人回答他。


    因为下一秒。


    大屏幕上的偏折角修正值开始疯狂回落。


    0.017。


    0.011。


    0.006！


    原本那道出现弧度的极紫外光束，在镜组画面中，像是被一只无形的大手硬生生掰直了。


    “回来了！”


    光路监测员猛地扑到屏幕前，声音都破了。


    “主光束重回中轴线！”


    “二号镜、三号镜反射面全部归正！”


    “焦点开始锁定！”


    程美丽站在主控台前，十指压上工业键盘。


    哒哒哒！


    她没有停。


    U盘算法在跑。


    她自己的手也在跑。


    一串又一串的微调指令，被她直接灌进镜组平台底层。


    “一号镜，左偏补偿0.003。”


    “三号镜，抬高。”


    “五号镜，锁死。”


    “看掩膜版。”


    她声音不大。


    却像一把冰冷的锤子，砸进每个人耳朵里。


    操作员猛地回神，扑向副屏。


    画面切换。


    那道被强行归正的极紫外光束，穿透复杂到令人窒息的镜头群，最终精准轰击在掩膜版之上。


    嗤！


    一声极轻的灼响。


    光，咬住了。


    “聚焦成功！”


    “主焦点锁定成功！”


    会场里先是一静。


    紧接着。


    轰！


    整个主控区像炸了一样。


    “成了！”


    “真的聚住了！”


    “曝光！快上曝光程序！”


    程美丽一掌拍下执行键。


    啪！


    晶圆工件台开始高速平移。


    涂满极紫外光刻胶的八英寸晶圆，在真空吸附台上稳稳前送。


    那束杀穿所有封锁的极紫外光，透过掩膜版，在晶圆表面留下一道又一道肉眼不可见的微观刻痕。


    全场没人再说话。


    只剩设备运转的低沉轰鸣。


    还有众人压得发疼的呼吸。


    三分钟后。


    滴！


    曝光结束。


    晶圆被机械抓手缓缓送出，推入显影清洗区。


    化学显影液如细雨般淋下。


    冲洗。


    定型。


    白色水雾弥散在玻璃罩内，遮得人眼前发白。


    “出来了。”


    程美丽开口。


    机械抓手应声探出，将首片曝光后的晶圆平稳夹起，送向最高精度电子显微镜平台。


    李副部长站在显微镜前，手都不知道该往哪放。


    一名院士死死抓着自己的老花镜，指节泛白。


    程美丽走过去，亲手转动焦距旋钮。


    咔。


    目镜锁定。


    她低头看了一眼。


    没说话。


    直接抬手把显微镜画面投上了主屏。


    嗡！


    巨幕亮起。


    一片安静得近乎完美的微观世界，瞬间铺满全场视野。


    晶格。


    线路。


    一道道细密到让人头皮发麻的电路纹路，整整齐齐排布在硅片之上。


    每一条边缘都锋利。


    每一个拐角都干净。


    没有塌陷。


    没有毛刺。


    没有任何因为失焦带来的烧灼和畸变。


    主屏右上角，自动检测数值缓缓跳出。


    0.5微米。


    李副部长盯着那串数字，整个人像是被雷劈中了。


    “零点……五……”


    他张了张嘴，声音却卡在嗓子里。


    下一秒。


    他猛地抬起手，死死捂住自己的脸。


    肩膀剧烈发抖。


    “成了……”


    “成了啊！”


    这声吼出来的时候，整个车间彻底炸了。


    欢呼声。


    拍桌声。


    金属栏杆被砸得咣咣作响。


    两名头发花白的院士当场红了眼，摘下眼镜抹脸，动作都在抖。


    其余人的反应彻底失控，几个人抱在一起，几个人高高举起图纸，像疯了一样吼。


    但这些声音，都被程美丽扔在了身后。


    她站在大屏前，盯着那片0.5微米的完美晶格，眼神却没有松下来。


    因为她看见了。


    在主屏最下方，一块被自动放大的微观区域里。


    某一道细密电路的边缘，正浮起一小片不正常的暗红色热斑。


    不大。


    只有针尖那么一点。


    却像一根细针，刺进了她的眼底。


    她没有出声。


    只是抬起手，用指尖轻轻敲了两下冰冷的显微镜外壳。


    笃。


    笃。


    主屏右下角的工艺流程时间提示，还在冷冰冰地跳。


    距离芯片蚀刻工序开始。


    还剩2小时。