第195章 20nm光刻胶出炉

作品:《小孩哥别闹!国家都快压不住了

    平安县,旧厂区小学。


    讲台上,数学老师正唾沫横飞地讲解着一道应用题。


    而教室后排靠窗的角落,周小树单手支着下巴打瞌睡。


    这几天,各种设备和材料都运到了旧厂区实验室,他放了学之后就奔实验室安装设备,昨天一不小心又通了个宵,今天实在困的不行。


    “周小树!”


    数学老师的声音忽然响起,周小树直接从睡梦当中惊醒。


    “你来回答一下这个问题!”


    周小树站起身来看了一眼数学老师,随后又低头向同桌投去了求助的目光。


    对方用手比划了一个c的形状。


    看到这一幕,周小树不由偷偷的向对方竖起一个中指。


    你小子坑我一次,还想再坑我第二次?


    于是他冲着数学老师开口说道:“不好意思,这题我不会。”


    一瞬间全班都安静了下来。


    数学老师推了推鼻梁上的眼镜。


    “我刚刚说过答案的,你这么快就忘了吗?”


    周小树尴尬一笑,数学老师一拍桌怒道:“选c呀!”


    这一刻,周小树直接愣住,然后缓缓转头看向同桌。


    卧槽?


    不是哥们儿,你玩真的呀?


    对方也做出了一个无语的表情,低声说道:“让你不信我……”


    周小树无奈起身,然后就看到了林嘉悦站在窗户口冲着数学老师挥手点头。


    对此,数学老师甚至已经没有多问一句直接无奈点头。


    “周小树你出去一下吧!”


    “谢谢老师!”


    周小树松了口气,在全班羡慕的目光当中,转身离开了教室。


    “哎呀,嫂子就是好,谢谢嫂子解围!”


    啪了一下,林嘉悦在他屁股上踢了一脚。


    “再乱说话,以后我给你加一节课!”


    接着对方翻了个白眼说道:“最后一台超高速离心分离机已经送到了旧厂区实验室,大海正在卸货呢,你赶紧回去看看吧!”


    “啊?”


    听到这个消息的时候,周小树一阵惊喜:“这么快就到了?”


    “是呀,特事特办专门从国外空运了一台给你送过来的,需要我给你请几天假吗?”


    “嘿嘿,林老师太懂我了,先给我请一个星期吧,等我忙完之后再回来上课!”


    “行吧,一个星期以后可能要考试,别忘了。”


    “知道知道!”


    周小树开心的跑向校门口,然后轻车熟路的上了一旁的军用吉普。


    现在的他已经算是国家重点科研人员出门,那都是有一个警卫连随行保护的,待遇不是一般的高。


    在校长那一脸羡慕的目光当中,周小树的车子一路开到了旧厂区。


    推开实验室的门,就看到了一台超高速离心机,已经被安放在了角落当中。


    王大海擦擦额角的汗水,拿起毛巾擦了擦离心机上的灰尘说道:“都已经验收过了,没问题的!”


    “太好了!”


    周小树一阵激动,随后直接套上了无尘服,然后说道:“事不宜迟,咱们就尽快开始吧!”


    王大海点点头也跟着从一旁拿出了无尘服,然后进入到了实验室内。


    光刻胶的制作并不简单,尤其是高品质的光刻胶,更是决定了芯片的良品率以及性能。


    品质越好的光刻胶,分辨率就越高,而这也直接决定了芯片的集成度。


    除了分辨率以外,还有一个重要的指标就是敏感度。


    这决定了曝光光源能量的影响效率,也决定了生产效率和成本。


    目前龙国还在研制二代光刻机的光刻胶技术,而自己现在要生产的则是四代光刻机所用到的更高品质的光刻胶。


    经过一番喷淋冲洗,去静电等环节之后,周小树穿着无尘服进入到了纯净车间。


    前段时间一些前期的准备工作和各种反应的材料都已经做好了,


    剩下的工作就是高速离心机所用到的分离提纯了。


    他将所需要用到的材料送入高速离心机当中,然后按下了启动按钮。


    随后实验室内传来了一阵轻微的嗡鸣声。


    周小树每隔一段时间从里面取出来一些材料进行检测。


    王大海站在一旁跟着仔细的学,拿着小本子像是小学生一样认真的记录着每一个步骤。


    看着周小树打着哈欠,王大海连忙说道:“要不这个环节交给我吧。”


    周小树点点头没有拒绝,然后又交代了一番之后这才离开实验室。


    几天后。


    实验室深处的暗红色防爆灯下,周小树小心翼翼地打开一个特制的、避光的棕色玻璃瓶。


    瓶内,是一种呈现出均匀琥珀色、质地略显粘稠的液体。


    看着瓶子里的这些液体,周小树的嘴角微微一扬。


    “20nm ArF浸没式光刻胶样品,成了!”


    听到这话,旁边的王大海激动的低声欢呼了一声。


    “小树,太牛了,没想到你竟然做出来了,这就是你说的四代光刻机所需要用到的光刻胶吗?”


    “没错,不过现在有个问题就是,没办法评估性能!”


    虽然周小树明白,这一瓶光刻胶肯定是没问题的。


    毕竟自己掌握的系统,按照其中的技术搞出来的东西是不会出现一点偏差的。


    但是关键问题是拿不出来实验报告,那就没办法证明它的性能。


    而光刻胶的性能测试绝非简单的观察和直觉判断,它需要一套极其复杂而且昂贵的专业设备。


    首先是需要在步进式光刻机用于曝光测试,然后用扫描电子显微镜用于高精度测量曝光后图案的分辨率、线边缘粗糙度和侧壁形貌等性能。


    这些设备,动辄数千万甚至上亿,而且大多被国外巨头垄断,对龙国严格禁运。


    燕京半导体研究所内虽然也有一些设备,可那测试精度最高也就只有200纳米。


    根本就测不出来这款光刻胶的极限性能。


    周小树沉思了片刻。


    很快,他眼中闪过一丝决断。


    “如果我没记错的话,汉斯猫的希曼公司那边好像有相关设备,大海哥,你能不能帮我搞到他们那边的送检名单?”


    对方一愣:“这……这种东西他们好像不会对外公布吧?”


    周小树微微一笑:“我当然知道不会对外公布,所以……”


    王大海瞪大眼睛,随后咬牙点点头:“好,我去弄!”